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Fabrication of 1.3 mu m Si-based MEMS tunable optical filter 会议论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS, 4928, SHANGHAI, PEOPLES R CHINA, OCT 17-18, 2002
作者:  Zuo YH;  Huang CJ;  Cheng BW;  Mao RW;  Luo LP;  Gao JH;  Bai YX;  Wang LC;  Yu JZ;  Wang QM;  Zuo YH Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect Beijing 100083 Peoples R China.
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Fabry-perot  Tunable Filter  Surface Micromaching  Cavity  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li C;  Huang CJ;  Cheng BW;  Zuo YH;  Luo LP;  Yu JZ;  Wang QM;  Li C,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,State Key Lab Integrated Optoelect,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang ZY;  Meng XQ;  Jin P;  Li CM;  Qu SC;  Xu B;  Ye XL;  Wang ZG;  Zhang ZY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Meng XQ;  Xu B;  Jin P;  Ye XL;  Zhang ZY;  Li CM;  Wang ZG;  Meng XQ,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang RK;  Zhong Y;  Zhang W;  Xu YQ;  Du Y;  Huang YQ;  Ren XM;  Niu ZC;  Wu RH;  Zhang RK,Beijing Univ Post & Telecom,POB 66,Beijing 100876,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  He J;  Xu B;  Wang ZG;  Qu SC;  Liu FQ;  Zhu TW;  Ye XL;  Zhao FA;  Meng XQ;  He J,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang ZY;  Xu B;  Jin P;  Meng XQ;  Li CM;  Ye XL;  Wang ZG;  Zhang ZY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Key Lab Semicond Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jia R;  Jiang DS;  Liu HY;  Wei YQ;  Xu B;  Wang ZG;  Jia R,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Natl Lab Superlattices & Microstruct,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei Xin;  Ma Xiaoyu;  Wang Guohong;  Zhang Guangze;  Zhu Xiaopeng;  Chen Lianghui
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Fang Gaozhan;  Xiao Jianwei;  Ma Xiaoyu;  Xu Zuntu;  Zhang Jinming;  Tan Manqing;  Liu Zongshun;  Liu Suping;  Feng Xiaoming
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