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采用TEOS源PECVD生长氧化硅厚膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2002-03-27, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  雷红兵;  王红杰;  胡雄伟;  邓晓清;  王启明
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  王文青;  宋淑芳;  艾家和;  韩晓英;  赵金茹;  许宏飞;  史利军
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  陈敦军;  毕朝霞;  沈波;  张开骁;  顾书林;  张荣;  施毅;  胡立群;  郑有（火+斗）;  孙学浩;  万寿科;  王占国
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  黄辉;  黄永清;  任晓敏;  高俊华;  罗丽萍;  马骁宇
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  孙殿照;  王晓亮;  胡国新;  王军喜;  刘宏新;  刘成海;  曾一平;  李晋闽;  林兰英
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  孙元平;  付羿;  渠波;  王玉田;  冯玉宏;  赵德刚;  郑新和;  段俐宏;  李秉臣;  张书明;  杨辉;  姜晓明;  郑文莉;  贾全杰
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  章蓓;  栾峰;  徐军;  金艳波;  徐万劲;  张会珍;  钱怡;  马骁宇;  朱恪;  刘玉龙
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  柴春林;  滕蛟;  于广华;  朱逢吾;  赖武彦;  肖纪美
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  冯淦;  郑新和;  朱建军;  沈晓明;  张宝顺;  赵德刚;  孙元平;  张泽洪;  王玉田;  杨辉;  梁骏吾
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  刘媛;  方高瞻;  王小薇;  刘斌;  马晓宇;  肖建伟
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