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GaAs化学机械抛光引入亚表面损伤层的分析 期刊论文
固体电子学研究与进展, 1999, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 111
Authors:  郑红军;  卜俊鹏;  何宏家;  吴让元;  曹福年;  白玉珂;  惠峰
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砷化镓晶片表面损伤层分析 期刊论文
稀有金属, 1999, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 241
Authors:  郑红军;  卜俊鹏;  曹福年;  白玉柯;  吴让元;  惠峰;  何宏家
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X射线回摆曲线定量检测SI-GaAs势光晶片的亚表面损伤层厚度 期刊论文
半导体学报, 1998, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 635
Authors:  曹福年;  卜俊鹏;  吴让元;  郑红军;  惠峰;  白玉珂;  刘明焦;  何宏家
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GaAs晶片化学机械抛光的机理分析 期刊论文
固体电子学研究与进展, 1997, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 399
Authors:  卜俊鹏;  郑红军;  何宏家;  吴让元
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