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微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  刘云飞
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Stress and resistivity controls on in situ boron doped LPCVD polysilicon films for high-Q MEMS applications 期刊论文
半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 8, 页码: 34-38
Authors:  Xie Jing;  Liu Yunfei;  Yang Jinling;  Tang Longjuan;  Yang Fuhua
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Dependence of wet etch rate on deposition, annealing conditions and etchants for PECVD silicon nitride film 期刊论文
半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 9, 页码: 151-154
Authors:  Tang Longjuan;  Zhu Yinfang;  Yang Jinling;  Li Yan;  Zhou Wei;  Xie Jing;  Liu Yunfei;  Yang Fuhua
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大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  杨晋玲;  刘云飞;  解婧;  杨富华
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一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  杨晋玲;  解婧;  刘云飞;  杨富华
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一种超高真空多功能综合测试系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
Inventors:  杨晋玲;  刘云飞;  解婧;  杨富华
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