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| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 尤志伟
 Adobe PDF(8420Kb) |  收藏 | 浏览/下载：250/1 | 提交时间：2023/07/03 |
| 用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 魏江涛
Adobe PDF(5222Kb) | 收藏 | 浏览/下载：295/0 | 提交时间：2021/06/17 |
| 高性能 MEMS 陀螺的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2013
作者: 钟卫威
Adobe PDF(2364Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1130/43 | 提交时间：2013/06/24 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: 杜彦东; 韩伟华; 颜伟; 张严波; 熊莹; 张仁平; 杨富华
Adobe PDF(531Kb) | 收藏 | 浏览/下载：3233/1392 | 提交时间：2012/07/17 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: 刘伟; 杨富华
Adobe PDF(1516Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1068/348 | 提交时间：2011/08/16 |
| 依赖晶面的三维限制硅纳米结构的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200810224109.8, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 杨香; 韩伟华; 王颖; 张杨; 杨富华
Adobe PDF(396Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1392/249 | 提交时间：2011/08/31 |
| SiO2/SiN双层钝化层T型栅AlGaN/GaN HEMT及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102437182A, 公开日期: 2012-09-07, 2012-05-02, 2012-09-07
发明人: 杜彦东; 韩伟华; 颜伟; 张严波; 杨富华
Adobe PDF(344Kb) | 收藏 | 浏览/下载：1702/383 | 提交时间：2012/09/07 |
| 利用光子束超衍射技术制备半导体T型栅电极的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102157361A, 公开日期: 2012-09-07, 2011-08-17, 2012-09-07
发明人: 颜伟; 杜彦东; 韩伟华; 杨富华
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| 微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910078562.7, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 杨晋玲; 周威; 周美强; 朱银芳; 杨富华
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| 以光刻胶为掩膜对二氧化硅进行深刻蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081225.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 李艳 ; 杨富华; 裴为华
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