血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 | |
尤志伟 | |
Subtype | 硕士 |
2023-05-26 | |
Degree Grantor | 中国科学院大学 |
Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
Degree Name | 工程硕士 |
Language | 中文 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31648 |
Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 尤志伟. 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2023. |
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File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
GK2023072-工程硕士-集成中心-(8420KB) | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text |
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