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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中科院半导体材料科学... [1]
作者
杨少延 [15]
尹志岗 [8]
张兴旺 [2]
徐波 [1]
陈涌海 [1]
文献类型
期刊论文 [56]
专利 [15]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
2006 [8]
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无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yin ZG
;
Chen NF
;
Li Y
;
Zhang XW
;
Bai YM
;
Chai CL
;
Xie YN
;
Zhang J
;
Yin, ZG, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yzhg@semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yin ZG (Yin Zhigang)
;
Chen NF (Chen Nuofu)
;
Dai RX (Dai Ruixuan)
;
Liu L (Liu Lei)
;
Zhang XW (Zhang Xingwang)
;
Wang XH (Wang Xiaohui)
;
Wu JL (Wu Jinliang)
;
Chai CL (Chai Chunlin)
;
Yin, ZG, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yzhg@semi.ac.cn
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浏览/下载:1068/280
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提交时间:2010/03/29
在硅衬底上磁控溅射制备铁磁性锰硅薄膜的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-12-27, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
刘力锋
;
陈诺夫
;
尹志岗
;
杨霏
;
柴春林
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浏览/下载:1637/202
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提交时间:2009/06/11
一种制备金属铪薄膜材料的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
杨少延
;
柴春林
;
刘志凯
;
陈涌海
;
陈诺夫
;
王占国
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浏览/下载:1231/117
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提交时间:2009/06/11
一种制备金属锆薄膜材料的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
杨少延
;
柴春林
;
刘志凯
;
陈涌海
;
陈诺夫
;
王占国
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浏览/下载:1383/153
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提交时间:2009/06/11
一种制备三元高K栅介质材料的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
李艳丽
;
陈诺夫
;
刘立峰
;
尹志刚
;
杨菲
;
柴春林
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浏览/下载:1228/169
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提交时间:2009/06/11
利用离子束外延生长设备制备氮化锆薄膜材料的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
杨少延
;
柴春林
;
刘志凯
;
陈涌海
;
陈诺夫
;
王占国
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浏览/下载:1290/148
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提交时间:2009/06/11
利用离子束外延生长设备制备氮化铪薄膜材料的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
杨少延
;
柴春林
;
刘志凯
;
陈涌海
;
陈诺夫
;
王占国
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浏览/下载:1313/128
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提交时间:2009/06/11
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Liu LF
;
Chen NF
;
Wang Y
;
Yin ZG
;
Yang F
;
Chai CL
;
Zhang X
;
Liu, LF, Peking Univ, Inst Microelect, Beijing 100871, Peoples R China. E-mail: lfliu@ime.pku.edu.cn
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提交时间:2010/04/11
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Liu LF
;
Chen NF
;
Wang Y
;
Zhang X
;
Yin ZG
;
Yang F
;
Chai CL
;
Liu, LF, Peking Univ, Inst Microelect, Novel Devices Grp, Beijing 100871, Peoples R China. E-mail: lfliu@ime.pku.edu.cn
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提交时间:2010/04/11