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感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
Authors:  梅书哲
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Mocvd  感应加热  温度均匀性  流场温场  建模仿真  
径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 977-982
Authors:  左然;  张红;  刘祥林
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