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| 高频高品质因子圆盘型微纳机电谐振器的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors: 解婧
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| 采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31
Inventors: 唐龙娟; 杨晋玲; 解婧; 李艳; 杨富华
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| 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31
Inventors: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华
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| 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31
Inventors: 杨晋玲; 解婧; 刘云飞; 杨富华
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| 一种超高真空多功能综合测试系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
Inventors: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华
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