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VHF-PECVD法高速沉积氢化非晶/纳米晶相变阈硅薄膜及太阳能电池 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2004
Authors:  徐艳月
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氢稀释对非晶硅碳(a-SiC:H)合金薄膜生长和光学特性的影响 期刊论文
中国科学. E辑,技术科学, 2004, 卷号: 34, 期号: 0, 页码: 5
Authors:  胡志华;  廖显伯;  刁宏伟;  孔光临;  曾湘波;  徐艳月
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等离子体增强化学气相沉积法实现硅纳米线掺硼 期刊论文
物理学报, 2004, 卷号: 53, 期号: 12, 页码: 4410-4413
Authors:  曾湘波;  廖显伯;  王博;  刁宏伟;  戴松涛;  向贤碧;  常秀兰;  徐艳月;  胡志华;  郝会颖;  孔光临
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