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磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2005-03-16, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈诺夫;  杨霏;  尹志岗;  柴春林;  吴金良
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磁控溅射靶的制造方法及该方法使用的模具 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  尹志岗;  杨霏;  陈诺夫;  吴金良;  柴春林
Adobe PDF(389Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1030/181  |  提交时间：2009/06/11
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yin ZG;  Chen NF;  Yang F;  Song SL;  Chai CL;  Zhong J;  Qian HJ;  Ibrahim K;  Yin, ZG, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yzhg@red.semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu LF;  Chen NF;  Song SL;  Yin ZG;  Yang F;  Chai CL;  Yang SY;  Liu ZK;  Liu, LF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: lfliu@red.semi.ac.cn
Adobe PDF(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1041/346  |  提交时间：2010/03/17
无权访问的条目 期刊论文
作者:  刘力锋;  陈诺夫;  尹志岗;  杨霏;  周剑平;  张富强
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