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GaAs化学机械抛光引入亚表面损伤层的分析 期刊论文
固体电子学研究与进展, 1999, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 111
Authors:  郑红军;  卜俊鹏;  何宏家;  吴让元;  曹福年;  白玉珂;  惠峰
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GaAs晶片化学机械抛光的机理分析 期刊论文
固体电子学研究与进展, 1997, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 399
Authors:  卜俊鹏;  郑红军;  何宏家;  吴让元
Adobe PDF(207Kb)  |  Favorite  |  View/Download:611/147  |  Submit date:2010/11/23