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中国科学院半导体研究所机构知识库
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发表日期:2016
专题:中国科学院半导体研究所
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Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究
学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
张硕
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Aln
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