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| 微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
作者: 刘云飞
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| 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧 ; 杨富华
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| 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 杨晋玲; 解婧; 刘云飞; 杨富华
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| 一种超高真空多功能综合测试系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华
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| 通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-08-01
发明人: 付英春; 王晓峰; 张加勇; 白云霞; 梁秀琴; 马慧莉; 季安; 杨富华
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| 通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-25
发明人: 付英春; 王晓峰; 张加勇; 白云霞; 梁秀琴; 马慧莉; 季安; 杨富华
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| 晶圆级光刻机键合方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人: 毛旭; 赵永梅; 杨香; 黄亚军; 季安; 白云霞; 王晓东; 杨富华
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