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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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半导体集成技术工程研... [3]
半导体超晶格国家重点... [1]
Authors
Document Type
Patent [3]
Journal ar... [1]
Date Issued
2017 [1]
Language
Source Publication
Nanoscale [1]
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Indexed By
SCI [1]
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期刊论文
Authors:
Lili Zhang
;
Chenyu Wang
;
Xue-Lu Liu
;
Tao Xu
;
Mingsheng Long
;
Erfu Liu
;
Chen Pan
;
Guangxu Su
;
Junwen Zeng
;
Yajun Fu
;
Yiping Wang
;
Zhendong Yan
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Anyuan Gao
;
Kang Xu
;
Ping-Heng Tan
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Litao Sun
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Zhenlin Wang
;
Xinyi Cui
;
Feng Miao
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Submit date:2018/06/15
材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
Inventors:
赵永梅
;
何志
;
季安
;
刘胜北
;
黄亚军
;
杨香
;
段瑞飞
;
张明亮
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2016/09/28
一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
Inventors:
赵永梅
;
何志
;
季安
;
王晓峰
;
黄亚军
;
潘岭峰
;
樊中朝
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2016/09/12
晶圆级光刻机键合方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
Inventors:
毛旭
;
赵永梅
;
杨香
;
黄亚军
;
季安
;
白云霞
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2016/09/22