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| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 尤志伟
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Xu, Pengfei; Wei, Zhenyu; Jia, Lu; Zhao, Yongmei; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua
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| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 张萌
Adobe PDF(5845Kb) | 收藏 | 浏览/下载：742/6 | 提交时间：2020/08/31 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Zuo Feng ; Yuming He ; Wei Yan; Fuhua Yang ; Weihua Han; Zhaofeng Li
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Peishuai Song; Zhe Ma; Jing Ma; Liangliang Yang; Jiangtao Wei; Yongmei Zhao; Mingliang Zhang; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Peishuai Song; Chaowei Si; Mingliang Zhang; Yongmei Zhao; Yurong He; Wen Liu; Xiaodong Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Xiaoyu Liu; Yifei Zhang; Huayu Feng; Yafei Ning; Yanpeng Shi; Xiaodong Wang; Fuhua Yang
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| 可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 杨帆
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