SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备
宋培帅
Subtype博士
2021-06
Degree Grantor中国科学院大学
Place of Conferral中国科学院半导体研究所
Language中文
Date Available2021-06
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30313
Collection半导体集成技术工程研究中心
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GB/T 7714
宋培帅. 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2021.
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