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多轴高性能MEMS加速度计的关键制备技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024
作者:  魏振宇
Adobe PDF(21058Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2024/10/17
基于Al-Sc合金高可靠性接触式RF MEMS开关的研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024
作者:  侯中轩
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面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:536/3  |  提交时间:2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:552/0  |  提交时间:2021/06/16
驻极体传感器在可穿戴设备中的应用及理论研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  宫少波
Adobe PDF(4398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:542/2  |  提交时间:2020/09/22
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Peishuai Song;  Zhe Ma;  Jing Ma;  Liangliang Yang;  Jiangtao Wei;  Yongmei Zhao;  Mingliang Zhang;  Fuhua Yang ;  Xiaodong Wang
Adobe PDF(5020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2021/12/16
基于摩擦纳米发电机的柔性子器件设计与应用研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  袁祖庆
Adobe PDF(6775Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:507/7  |  提交时间:2019/08/20
氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
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A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文
2004 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 18-21, 2004
作者:  Ning, J;  Liu, ZL;  Liu, HZ;  Ge, YC;  Ning, J, Chinese Acad Sci, Microelect R&D Ctr, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Silicon Capacitive Microphone  Oxidized Porous Silicon  Sacrificial Layer  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  宁瑾;  刘忠立;  刘焕章;  葛永才
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