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| 多轴高性能MEMS加速度计的关键制备技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024 作者: 魏振宇 Adobe PDF(21058Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2024/10/17 |
| 基于Al-Sc合金高可靠性接触式RF MEMS开关的研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024 作者: 侯中轩 Adobe PDF(8200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2024/10/17 |
| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅 Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:536/3  |  提交时间:2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:552/0  |  提交时间:2021/06/16 |
| 驻极体传感器在可穿戴设备中的应用及理论研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 宫少波 Adobe PDF(4398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:542/2  |  提交时间:2020/09/22 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Peishuai Song; Zhe Ma; Jing Ma; Liangliang Yang; Jiangtao Wei; Yongmei Zhao; Mingliang Zhang; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang Adobe PDF(5020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2021/12/16 |
| 基于摩擦纳米发电机的柔性子器件设计与应用研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 袁祖庆 Adobe PDF(6775Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:507/7  |  提交时间:2019/08/20 |
| 氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 杨健 Adobe PDF(13476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:724/14  |  提交时间:2019/11/18 |
| A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文 2004 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 18-21, 2004 作者: Ning, J; Liu, ZL; Liu, HZ; Ge, YC; Ning, J, Chinese Acad Sci, Microelect R&D Ctr, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. Adobe PDF(151Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1185/186  |  提交时间:2010/03/29 Silicon Capacitive Microphone Oxidized Porous Silicon Sacrificial Layer |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 宁瑾; 刘忠立; 刘焕章; 葛永才 Adobe PDF(228Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1034/492  |  提交时间:2010/11/23 |