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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
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| 驻极体传感器在可穿戴设备中的应用及理论研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 宫少波
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Peishuai Song; Zhe Ma; Jing Ma; Liangliang Yang; Jiangtao Wei; Yongmei Zhao; Mingliang Zhang; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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| 基于摩擦纳米发电机的柔性子器件设计与应用研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 袁祖庆
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| 氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 杨健
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| A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文
2004 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 18-21, 2004
作者: Ning, J; Liu, ZL; Liu, HZ; Ge, YC; Ning, J, Chinese Acad Sci, Microelect R&D Ctr, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Silicon Capacitive Microphone Oxidized Porous Silicon Sacrificial Layer |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: 宁瑾; 刘忠立; 刘焕章; 葛永才
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Ning Jin; Liu Zhongli; Liu Huanzhang; Ge Yongcai
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: 宁瑾; 刘忠立; 赵慧
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