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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 卢晓锐 Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:320/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文 工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 尤志伟 Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:401/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:302/2  |  提交时间:2022/07/15 |
| 基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 黄镇 Adobe PDF(43171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/5  |  提交时间:2022/07/15 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:463/2  |  提交时间:2022/07/25 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 赵俊元 Adobe PDF(6365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2021/12/16 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 陈泽基 Adobe PDF(20939Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2021/06/17 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 付登源 Adobe PDF(5211Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2021/06/17 |
| 谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何玉铭 Adobe PDF(6703Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:417/2  |  提交时间:2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:395/0  |  提交时间:2021/06/16 |