| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 | |
| 卢晓锐 | |
| Subtype | 硕士 |
| 2023-05-31 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
| Degree Name | 工学硕士 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31637 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 卢晓锐. ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2023. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| GK2023088-硕士-集成中心-卢晓（7894KB） | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | ||
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