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一种改善ZnO薄膜欧姆接触的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-03-31, 2010-08-12
Inventors:  张兴旺;  蔡培锋;  游经碧;  范亚明;  高 云;  陈诺夫
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氢等离子体处理对ZnO薄膜光电性能的影响 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2009
Authors:  蔡培锋
Adobe PDF(702Kb)  |  Favorite  |  View/Download:846/30  |  Submit date:2009/04/13