已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010534603.1, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 宁瑾; 李永梅; 韩国威; 杨富华 Adobe PDF(410Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1279/226  |  提交时间:2011/08/31 |
| 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010564525.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 韩国威; 宁瑾; 孙国胜; 赵永梅; 杨富华 Adobe PDF(387Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1146/100  |  提交时间:2011/08/31 |
| 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-22 发明人: 钟卫威; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 杨富华 Adobe PDF(836Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:732/86  |  提交时间:2014/11/24 |
| 一种制备图形化多孔硅结构的方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19 发明人: 赵永梅; 杨香; 季安; 张明亮; 韩国威; 宁瑾; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:749/92  |  提交时间:2014/11/05 |
| 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 杨健; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 梁秀琴 Adobe PDF(382Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:582/1  |  提交时间:2016/08/30 |
| 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 杨富华 Adobe PDF(313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:582/6  |  提交时间:2016/08/30 |
| 采用晶圆级封装的MEMS器件 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 杨富华 Adobe PDF(365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:543/2  |  提交时间:2016/08/30 |
| 在衬底上制备多级台阶的方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30 发明人: 杨健; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 梁秀琴; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(305Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:548/1  |  提交时间:2016/08/30 |