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| 采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 唐龙娟; 杨晋玲; 解婧 ; 李艳; 杨富华
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| 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华
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| 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人: 杨晋玲; 解婧; 刘云飞; 杨富华
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| 一种超高真空多功能综合测试系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华
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| 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-18
发明人: 杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 朱银芳; 杨富华
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| 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-10-17
发明人: 杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 杨富华
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| 用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-29
发明人: 杨晋玲; 王晶晶; 王帅鹏; 朱银芳; 杨富华; 张宁
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