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一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 3998
发明人:  李文兵;  韩 勤;  秦 龙;  杨晓红;  倪海乔;  杜 云;  朱 彬;  鞠研玲
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang S (Zhang Shuang);  Zhao DG (Zhao De-Gang);  Liu ZS (Liu Zong-Shun);  Zhu JJ (Zhu Jian-Jun);  Zhang SM (Zhang Shu-Ming);  Wang YT (Wang Yu-Tian);  Duan LH (Duan Li-Hong);  Liu WB (Liu Wen-Bao);  Jiang DS (Jiang De-Sheng);  Yang H (Yang Hui);  Zhao, DG, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: dgzhao@red.semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  张爽;  赵德刚;  刘宗顺;  朱建军;  张书明;  王玉田;  段俐宏;  刘文宝;  江德生;  杨辉
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