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一种制备三元高K栅介质材料的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  李艳丽;  陈诺夫;  刘立峰;  尹志刚;  杨菲;  柴春林
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单相钆硅化合物以及制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-10, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  李艳丽;  陈诺夫;  杨少延;  刘志凯
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