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GaAs研磨片化学腐蚀均匀性的分析 期刊论文
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 335
Authors:  郑红军;  卜俊鹏;  尹玉华;  白玉柯
Adobe PDF(204Kb)  |  Favorite  |  View/Download:689/243  |  Submit date:2010/11/23