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GaAs晶片化学机械抛光的机理分析 期刊论文
固体电子学研究与进展, 1997, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 399
Authors:  卜俊鹏;  郑红军;  何宏家;  吴让元
Adobe PDF(207Kb)  |  Favorite  |  View/Download:612/147  |  Submit date:2010/11/23