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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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研究单元&专题
中国科学院半导体研... [98]
作者
刘兴昉 [21]
宁瑾 [4]
赵永梅 [3]
王玉田 [2]
裴为华 [2]
黎大兵 [1]
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文献类型
期刊论文 [64]
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发表日期
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专题:中国科学院半导体研究所(2009年前)
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
电学测试的汞探针装置
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-10, 2010-08-12
发明人:
纪 刚
;
孙国胜
;
宁 瑾
;
刘兴昉
;
赵永梅
;
王 雷
;
赵万顺
;
曾一平
;
李晋闽
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浏览/下载:1860/331
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提交时间:2010/08/12
一种高温碳化硅双室热壁式外延生长装置
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2009-12-02, 2010-08-12
发明人:
孙国胜
;
王 雷
;
赵万顺
;
曾一平
;
叶志仙
;
刘兴昉
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浏览/下载:1795/301
  |  
提交时间:2010/08/12
由绝缘衬底上超薄六方相碳化硅膜外延石墨烯的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 4002
发明人:
刘兴昉
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浏览/下载:1264/225
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提交时间:2010/03/19
碳化硅射频微电子机械系统滤波器的制作方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-07-01, 公开日期: 3999
发明人:
赵永梅
;
宁 瑾
;
孙国胜
;
王 亮
;
刘兴昉
;
赵万顺
;
王 雷
;
李晋闽
;
曾一平
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浏览/下载:1493/272
  |  
提交时间:2010/03/19
一种用于微电子机械系统的碳化硅微通道的制作方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-07-01, 公开日期: 3999
发明人:
刘兴昉
;
孙国胜
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浏览/下载:2780/923
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提交时间:2010/03/19
多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-03, 公开日期: 3996
发明人:
王 亮
;
宁 瑾
;
孙国胜
;
王 雷
;
赵万顺
;
赵永梅
;
刘兴昉
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浏览/下载:1420/215
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提交时间:2010/03/19
氧化硅上制备低阻碳化硅的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-27, 公开日期: 3996
发明人:
赵永梅
;
孙国胜
;
宁 瑾
;
王 亮
;
刘兴昉
;
赵万顺
;
王 雷
;
李晋闽
;
曾一平
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浏览/下载:1528/262
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提交时间:2010/03/19
图形衬底上生长碳化硅厚膜的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-27, 公开日期: 3996
发明人:
赵永梅
;
孙国胜
;
刘兴昉
;
王 亮
;
王 雷
;
赵万顺
;
李晋闽
;
曾一平
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浏览/下载:1420/242
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提交时间:2010/03/19
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Iqbal J
;
Liu XF
;
Majid A
;
Yu DP
;
Yu RH
;
Iqbal J Tsinghua Univ Dept Mat Sci & Engn Adv Mat Lab Beijing 100084 Peoples R China. E-mail Address: javedsaggu73@yahoo.com
;
rhyu@tsinghua.edu.cn
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浏览/下载:1396/387
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提交时间:2010/03/08
In-Situ Boron and Aluminum Doping and Their Memory Effects in 4H-SiC Homoepitaxial Layers Grown by Hot-Wall LPCVD
会议论文
SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2007, Otsu, JAPAN, OCT 14-19, 2007
作者:
Sun, GS
;
Zhao, YM
;
Wang, L
;
Zhao, WS
;
Liu, XF
;
Ji, G
;
Zeng, YP
;
Sun, GS, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Novel Semicond Mat Lab, Beijing 100083, Peoples R China.
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浏览/下载:1646/274
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提交时间:2010/03/09
In-situ Doping
Boron
Aluminum
Memory Effects
Hot-wall Lpcvd
4h-sic