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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 卢晓锐
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
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| 基于模板法的表面纳米结构制备与应用研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 马静
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Peishuai Song; Zhe Ma; Jing Ma; Liangliang Yang; Jiangtao Wei; Yongmei Zhao; Mingliang Zhang; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Liangliang Yang; Jiangtao Wei ; Zhe Ma ; Peishuai Song; Jing Ma ; Yongqiang Zhao; Zhen Huang ; Mingliang Zhang ; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
Adobe PDF(12437Kb) | 收藏 | 浏览/下载：192/0 | 提交时间：2020/08/05 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Dan Zhang; Shuqi Zhou; You Liu; Xia Fan; Mingliang Zhang; Jin Zhai; Lei Jiang
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| 硅微纳结构热电器件研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者: 祁洋洋
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金属辅助化学腐蚀法 Si纳米线 热电器件 微纳结构 |
| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Liu, Wen; Wang, Xiaodong; Xu, Rui; Wang, Xiaofeng; Cheng, Kaifang; Ma, Huili; Yang, Fuhua
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