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无权访问的条目 学位论文
作者:  王加庆
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氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liangliang Yang;   Jiangtao Wei ;   Zhe Ma ;   Peishuai Song;   Jing Ma ;   Yongqiang Zhao;   Zhen Huang ;   Mingliang Zhang ;   Fuhua Yang ;   Xiaodong Wang
Adobe PDF(12437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：192/0  |  提交时间：2020/08/05
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jian Yang;   Meng Zhang;   Yurong He;   Yan Su ;   Guowei Han ;   Chaowei Si ;   Jin Ning;   Fuhua Yang ;   Xiaodong Wang
Adobe PDF(6047Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2020/08/05
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jian Yang;  Meng Zhang;  Chaowei Si;  Guowei Han;  Jin Ning;  Fuhua Yang;  Xiaodong Wang
Adobe PDF(2407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2020/08/05