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采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03
发明人:  康中波;  司朝伟;  宁瑾;  韩国威
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阵列型微机电可变光衰减器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
发明人:  毛旭;  吕兴东;  魏伟伟;  杨晋玲;  杨富华
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应用于导电桥存储器的纳米金属插塞电极阵列的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910091406.4, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  王晓峰;  张加勇;  王晓东;  季安;  杨富华
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一种纳米尺寸金属插塞电极阵列的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910091398.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  王晓峰;  张加勇;  王晓东;  季安;  杨富华
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一种基于微机电技术的M×N光交换阵列 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  张金英;  吕兴东;  杨晋玲;  杨富华
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集成超声换能器的AFM探针阵列 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  何欢;  张金英;  杨晋玲;  杨富华
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