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| 金属有机物化学气相淀积设备反应室中的公转自转机构 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-11-22, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美 Adobe PDF(1564Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1030/128  |  提交时间:2009/06/11 |
| 原位非接触探测MOCVD石墨温度分布的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 赵凤瑷; 焦春美 Adobe PDF(560Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1299/167  |  提交时间:2009/06/11 |
| 金属有机物化学气相沉积设备反应室中的反烘烤沉积结构 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美 Adobe PDF(617Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1123/161  |  提交时间:2009/06/11 |
| 金属有机物化学气相淀积设备的多层流反应室结构 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美 Adobe PDF(609Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:944/132  |  提交时间:2009/06/11 |
| 一种III族氮化物衬底的生产设备 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美 Adobe PDF(844Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:978/95  |  提交时间:2009/06/11 |
| 在硅衬底上生长氮化镓自支撑衬底材料的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美; 于英仪; 赵凤瑗 Adobe PDF(661Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1146/153  |  提交时间:2009/06/11 |
| 应变调制掺杂法制备P型氧化锌半导体薄膜材料的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 赵凤瑗; 焦春美; 于英仪 Adobe PDF(665Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1112/154  |  提交时间:2009/06/11 |
| 一种石墨清洗装置 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-03-20, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 焦春美; 刘祥林 Adobe PDF(599Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:822/113  |  提交时间:2009/06/11 |