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| 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31 Inventors: 殷海波; 王晓亮; 胡国新; 冉军学; 肖红领; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(510Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1618/239  |  Submit date:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31 Inventors: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(417Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1546/254  |  Submit date:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31 Inventors: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(299Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1533/258  |  Submit date:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31 Inventors: 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(341Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1681/273  |  Submit date:2011/08/31 |
| 金属有机物化学沉积设备的反应室 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31 Inventors: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(427Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1621/260  |  Submit date:2011/08/31 |