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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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半导体集成技术工程研... [7]
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沟道型碳化硅肖特基二极管及其制作方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-10-10
Inventors:
何志
;
张峰
;
樊中朝
;
赵咏梅
;
孙国胜
;
季安
;
杨富华
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Submit date:2014/10/29
一种制备图形化多孔硅结构的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
Inventors:
赵永梅
;
杨香
;
季安
;
张明亮
;
韩国威
;
宁瑾
;
王晓东
;
杨富华
Adobe PDF(686Kb)
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Submit date:2014/11/05
一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
Inventors:
赵永梅
;
季安
;
张明亮
;
杨香
;
宁瑾
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2014/11/05
材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
Inventors:
赵永梅
;
何志
;
季安
;
刘胜北
;
黄亚军
;
杨香
;
段瑞飞
;
张明亮
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2016/09/28
一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
Inventors:
赵永梅
;
何志
;
季安
;
王晓峰
;
黄亚军
;
潘岭峰
;
樊中朝
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2016/09/12
在衬底上制备多级台阶的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
Inventors:
杨健
;
司朝伟
;
韩国威
;
宁瑾
;
赵永梅
;
梁秀琴
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2016/08/30
晶圆级光刻机键合方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
Inventors:
毛旭
;
赵永梅
;
杨香
;
黄亚军
;
季安
;
白云霞
;
王晓东
;
杨富华
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Submit date:2016/09/22