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面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
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基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：368/0  |  提交时间：2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Zhe;   Wei, Jiangtao;   Song, Peishuai;   Zhang, Mingliang;   Yang, Liangliang;   Ma, Jing;   Liu, Wen;   Yang, Fuhua;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(11539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/12/29