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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
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4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  郭志煜
Adobe PDF(10262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/2  |  提交时间：2022/07/26
4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  郭志煜
Adobe PDF(10262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/3  |  提交时间：2022/07/15
N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  武婧敏
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可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨帆
Adobe PDF(4558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：451/8  |  提交时间：2019/11/12