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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu YF;  Xie J;  Zhang ML;  Yang JL;  Yang FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. jlyang@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, Y;  Liu, J;  Li, Y;  Yang, FH;  Zhang, Y, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Qinghua E Rd Jia 35,Haidian Dist, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: zhangyang@semi.ac.cn;  liujian@semi.ac.cn;  liyan@semi.ac.cn;  fhyang@semi.ac.cn
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A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文
2004 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 18-21, 2004
作者:  Ning, J;  Liu, ZL;  Liu, HZ;  Ge, YC;  Ning, J, Chinese Acad Sci, Microelect R&D Ctr, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Silicon Capacitive Microphone  Oxidized Porous Silicon  Sacrificial Layer