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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ding JQ (Ding, Jieqin);  Wang XL (Wang, Xiaoliang);  Xiao HL (Xiao, Hongling);  Wang CM (Wang, Cuimei);  Yin HB (Yin, Haibo);  Chen H (Chen, Hong);  Feng C (Feng, Chun);  Jiang LJ (Jiang, Lijuan)
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Deng QW;  Wang XL;  Xiao HL;  Wang CM;  Yin HB;  Chen H;  Hou QF;  Lin DF;  Li JM;  Wang ZG;  Hou X
Adobe PDF(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1526/491  |  提交时间:2011/07/07
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Deng QW;  Wang XL;  Yang CB;  Xiao HL;  Wang CM;  Yin HB;  Hou QF;  Li JM;  Wang ZG;  Hou X;  Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang XB;  Wang XL;  Xiao HL;  Yang CB;  Hou QF;  Yin HB;  Chen H;  Wang ZG;  Zhang, XB, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. soffeezxb@163.com
Adobe PDF(606Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2005/513  |  提交时间:2011/07/05
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Deng QW;  Wang XL;  Yang CB;  Xiao HL;  Wang CM;  Yin HB;  Hou QF;  Bi Y;  Li JM;  Wang ZG;  Hou X;  Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn
Adobe PDF(1060Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2207/481  |  提交时间:2011/07/05
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yin, Haibo;  Wang, Xiaoliang;  Ran, Junxue;  Hu, Guoxin;  Zhang, Lu;  Xiao, Hongling;  Li, Jing;  Li, Jinmin;  Yin, H.(hbyin@semi.ac.cn)
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MOCVD设备研制及氮化物材料生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  殷海波
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用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人:  胡国新;  王晓亮;  冉军学;  肖红领;  殷海波;  张露;  李晋闽
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用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  殷海波;  王晓亮;  胡国新;  冉军学;  肖红领;  张露;  李晋闽
Adobe PDF(510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1646/239  |  提交时间:2011/08/31
用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  冉军学;  王晓亮;  胡国新;  肖红领;  张露;  殷海波;  李晋闽
Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1561/254  |  提交时间:2011/08/31