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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu Mao;  Zhiqiang Fang;  Zhe Zhang;  Jinling Yan;  Zhimei Qi;  Fuhua Yang
Adobe PDF(1326Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：631/102  |  提交时间：2014/05/08
采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  唐龙娟;  杨晋玲;  解婧;  李艳;  杨富华
Adobe PDF(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1941/287  |  提交时间：2011/08/31