半导体的检测与分析

SEMI OpenIR > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	半导体的检测与分析
	许振嘉
	2007
出版者	科学出版社
出版地	北京
摘要	本书的内容与1984年第一版的内容完全不同。本书介绍补充了这二十年来半导体科研、生产中最常用的各种检测、分析方法和原理。全书共分7章，包括引论，半导体的高分辨X射线衍射，光学检测与分析，表面、薄膜成分分析，扫描探针显微学在半导体中的运用，透射电子显微学及其在半导体中的应用和半导体深中心的表征。书中根据实践列举了一些实例，同时附有大量参考文献和常用的数据，以便读者进一步参考和应用。
学科领域	半导体材料
目录	前言第1章引论　1.1 科学内容　1.2 实验技术　1.3 展望　参考文献第2章半导体晶体的高分辨X射线衍射　2.1 引言　2.2 半导体晶体结构与结构缺陷　2.3 X射线平面波的衍射　2.4 高分辨X射线衍射的限束　2.5 异质外延多层膜的X射线双晶衍射　2.6 三轴衍射　2.7 晶格参数的精确测量　2.8 镶嵌结构的测量　2.9 镜面反射与面内掠入射　参考文献　附录第3章光学性质检测分析　3.1 引言　3.2 半导体光致发光　3.3 半导体的阴极荧光　3.4 吸引光谱及其相关的薄膜光谱测量方法　3.5 拉曼散射　参考文献第4章表面和薄膜成分分析　4.1 引言　4.2 俄歇电子能谱　4.3 X射线光电子谱　4.4 二次离子质谱 4.5 卢瑟福背散射参考文献附录第5章扫描探针显微学在半导体中的运用　5.1 引言　5.2 扫描隧道显微镜的基本原理　5.3 用STM分析表面结构　5.4 扫描隧道谱　5.5 弹道电子发射显微镜　5.6 原子力显微镜　5.7 原子力显微镜用于表面分析　5.8 扫描电容显微镜　5.9 静电力显微镜　5.10 磁力显微镜　5.11 扫描近场光学显微镜　5.12 原子操纵与纳米加工　参考文献第6章透射电子显微学及其在半导体研究　6.1 引言　6.2 透射电子显微镜的基本构造及工作原理　6.3 显微像衬度　6.4 其他技术　6.5 应用实例　6.6 结语　参考文献　附录第7章半导体深中心的表征 7.1 深能级瞬态谱技术参考文献 7.2 热激电流参考文献
ISBN	9787030194626
所属丛书	半导体科学与技术丛书
语种	中文
文献类型	专著
条目标识符	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/6262
专题	中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	许振嘉. 半导体的检测与分析[M]. 北京:科学出版社,2007.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
72008719222039689.jp（9KB）			限制开放	使用许可	请求全文