| 用于金属有机化合物化学气相沉积设备反应室的进气顶盘 | |
| 王晓亮; 殷海波; 肖红领; 姜丽娟; 冯春 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体所 |
| 公开日期 | 2016-09-29 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 半导体材料 |
| 申请日期 | 2015-01-05 |
| 申请号 | CN201510002676.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27632 |
| 专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓亮,殷海波,肖红领,等. 用于金属有机化合物化学气相沉积设备反应室的进气顶盘. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于金属有机化合物化学气相沉积设备反应室（700KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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