SEMI OpenIR  > 固态光电信息技术实验室
AWG输出波导与波导探测器的集成器件及其制备方法
吕倩倩; 韩勤; 杨晓红; 尹伟红
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-09-29
授权国家中国
专利类型发明
学科领域光电子学
申请日期2015-06-30
申请号CN201510386760.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27629
专题固态光电信息技术实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
吕倩倩,韩勤,杨晓红,等. AWG输出波导与波导探测器的集成器件及其制备方法.
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