| 硅微纳结构热电器件研究 | |
| 祁洋洋 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 导师 | 杨富华 ; 王晓东 ; 张明亮 |
| 2015-05-31 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 关键词 | 金属辅助化学腐蚀法 Si纳米线 热电器件 微纳结构 |
| 学科领域 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2015-06-02 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26535 |
| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 祁洋洋. 硅微纳结构热电器件研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2015. |
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