SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器
赵晖
学位类型博士
导师杨晋玲
2014-05-30
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业微电子与固体电子学
关键词参考频率源 Mems 谐振器 高阶谐振模态 振荡器 温度补偿
学科领域半导体器件
公开日期2014-06-03
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25098
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
赵晖. 用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器[D]. 北京. 中国科学院大学,2014.
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