| 多级高精度微位移传感器探头; 多级高精度微位移传感器探头 | |
| 王欣; 谢亮; 鞠昱; 刘宇; 漆晓琼; 孙可; 满江伟; 袁海庆; 祝宁华 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 一种多级高精度微位移传感器探头,其中包括：一光纤束；一光纤束固定保护金属套,该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体,在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔,所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。 |
| 部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN201110025009.4 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23431 |
| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王欣,谢亮,鞠昱,等. 多级高精度微位移传感器探头, 多级高精度微位移传感器探头. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 多级高精度微位移传感器探头.pdf（221KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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