| 基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器 | |
满江伟 ; 陈伟; 张红广; 韩威; 孙可; 谢亮; 祝宁华
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感，包括：一激光器；一Y型波导，该Y型波导的一端为入射波导，入射波导的一端有一第一正锥，该Y型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接；该Y型波导的另两端分为参考臂波导和传感臂波导；该Y型波导的参考臂波导的一端有一第二正锥；该Y型波导的传感臂波导的一端有一第三正锥；一第一功率计，该第一功率计通过光纤与参考臂波导的第二正锥连接；一马赫-曾德尔波导结构，该马赫-曾德尔波导结构接入传感臂波导的中间；一第二功率计，该第二功率计通过光纤与传感臂波导的第三正锥连接。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Patent Number | CN201010117754.7 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201010117754.7 |
| Patent Agent | 汤保平 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21961 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 满江伟,陈伟,张红广,等. 基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器. CN201010117754.7. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN201010117754.7.pdf（294KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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