SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器
满江伟; 陈伟; 张红广; 韩威; 孙可; 谢亮; 祝宁华
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-30
Country中国
Subtype发明
Abstract一种基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器,是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感,包括:一激光器;一Y型波导,该Y型波导的一端为入射波导,入射波导的一端有一第一正锥,该Y型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接;该Y型波导的另两端分为参考臂波导和传感臂波导;该Y型波导的参考臂波导的一端有一第二正锥;该Y型波导的传感臂波导的一端有一第三正锥;一第一功率计,该第一功率计通过光纤与参考臂波导的第二正锥连接;一马赫-曾德尔波导结构,该马赫-曾德尔波导结构接入传感臂波导的中间;一第二功率计,该第二功率计通过光纤与传感臂波导的第三正锥连接。
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Patent NumberCN201010117754.7
Language中文
Status公开
Application NumberCN201010117754.7
Patent Agent汤保平
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21961
Collection集成光电子学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
满江伟,陈伟,张红广,等. 基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器. CN201010117754.7.
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