基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器 | |
满江伟; 陈伟; 张红广; 韩威; 孙可; 谢亮; 祝宁华 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-30 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器,是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感,包括:一激光器;一Y型波导,该Y型波导的一端为入射波导,入射波导的一端有一第一正锥,该Y型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接;该Y型波导的另两端分为参考臂波导和传感臂波导;该Y型波导的参考臂波导的一端有一第二正锥;该Y型波导的传感臂波导的一端有一第三正锥;一第一功率计,该第一功率计通过光纤与参考臂波导的第二正锥连接;一马赫-曾德尔波导结构,该马赫-曾德尔波导结构接入传感臂波导的中间;一第二功率计,该第二功率计通过光纤与传感臂波导的第三正锥连接。 |
metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
Patent Number | CN201010117754.7 |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN201010117754.7 |
Patent Agent | 汤保平 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21961 |
Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 满江伟,陈伟,张红广,等. 基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器. CN201010117754.7. |
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