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基于SOI硅片的硅微电极制作与评估 期刊论文
半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 11, 页码: 2169-2174
Authors:  隋晓红;  陈弘达
Adobe PDF(614Kb)  |  Favorite  |  View/Download:771/281  |  Submit date:2010/11/23