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氢离子注入硅片退火行为的高压电镜原位观察 期刊论文
中国有色金属学报, 1998, 卷号: 8, 期号: 4, 页码: 626
Authors:  王敬;  屠海令;  刘安生;  张椿;  周旗钢;  朱悟新;  高文;  李建明
Adobe PDF(111Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1202/354  |  Submit date:2010/11/23