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作者:  Lv, XQ;  Liu, N;  Jin, P;  Wang, ZG;  Jin, P, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: pengjin@red.semi.ac.cn
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Study of Si/SiO2 hybrid antireflective coatings on SLD prepared by DSEBET - art. no. 69842P 会议论文
THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS,SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE, Shanghai, PEOPLES R CHINA, SEP 25-28, 2007
作者:  Sun, MX;  Tan, MQ;  Zhao, M;  Sun, MX, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China.
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Antireflective Coatings  Superluminescent Diodes  Double Source Electron Beam Evaporation Technology